| 摘要 |
【課題】光学系の光学特性を評価するためのパターンを効率的に選択する。【解決手段】光学系のＯＰＥ特性の評価方法であって、複数のテストパターンを用いてその光学系が第１の状態のときのそれらのテストパターンのＣＤ（critical dimension）値を求めるステップ１０２，１１２と、それらのテストパターンを用いてその光学系が第２〜第４の状態に変化したときのそれらのテストパターンのＣＤ値を求めるステップ１０６，１１２と、その第１の状態でのＣＤ値からその第２〜第４の状態でのＣＤ値への変動量の間の距離を求め、この距離に基づいてそれらのテストパターンからＯＰＥ特性を評価するために使用するｎ個の評価用パターンを選択するステップ１１６，１２２，１２４とを有する。【選択図】図４ |
