光加工装置及び光加工物の生産方法

摘要

【課題】加工対象物に対する光照射位置を光走査手段によって移動させる光加工装置において、比較的大きな加工対象物に対しても加工処理しやすくすることを課題とする。【解決手段】光源１１と、前記光源による光を走査する光走査手段２１と、前記光走査手段によって走査された光を加工対象物３５へ向けて集光させる集光手段２２とを有する光加工装置において、前記集光手段は、前記加工対象物に対して移動する移動手段２５に搭載され、前記光源は、前記移動手段に非搭載であることを特徴とする。【選択図】図１