| 摘要 |
このエンドエフェクタ(5)は、それぞれ独立に駆動可能な第１のハンド(8)および第２のハンド(9)を備える。第１のハンド(8)は、基板収容部に収容された上下に隣接する基板同士の間に挿入可能なハンド本体(10)を有し、ハンド本体(10)の直上または直下の基板(S)を保持する。第２のハンド(9)は、基板収容部に収容された複数の基板(S)のうちの最下段の基板(S)の下方または最上段の基板(S)の上方に少なくとも一部が進入するハンド基部(11)と、ハンド基部(11)に設けられ、最下段または最上段の基板(S)を含む二枚以上の基板(S)を保持する基板保持手段(12)と、を有する。このエンドエフェクタ(5)によれば、基板収容部側の事情によりバッチ搬送式ハンドの使用に制約がある場合でも、基板搬送を支障なく行える。 |
