| 摘要 |
【課題】 測定対象に与える測定信号の周波数とノイズ成分の周波数とが近い場合に生ずる測定誤差を小さくするインピーダンス測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】 測定信号が供給されない状態で測定対象の試料に現れる検出信号を測定信号に同期する位相が直交する二つの基準信号（同期信号）より同期検波して、試料のノイズレベルを測定することを複数の測定周波数で行い、ノイズの少ない測定周波数を求める。ノイズの少ない周波数の測定信号を試料に供給し、その検出信号を基準信号により同期検波して試料のインピーダンスを測定する。【選択図】 図１ |
