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Es wird bereitgestellt eine Spannungsanalysevorrichtung, welche zum Verbessern der Genauigkeit eines Spannungswerts geeignet ist, ein Verfahren und ein Programm. Eine Spannungsanalysevorrichtung 100, welche eine Eigenspannung einer Probe S berechnet, umfasst eine Analyseeinheit, ausgebildet zum Berechnen eines Fehlers als eine von Lösungen durch Verwenden einer Gleichung, welche einen Fehlerterm umfasst und eine Beziehung zwischen einer Spannung und einer Dehnung vorschreibt, mit mittels gebeugten Röntgenstrahlen bezüglich einer Vielzahl von Beugungsvektoren gemessenen Werten und eines vorläufigen Wertes, wenn die Spannung in der Richtung senkrecht zu der Oberfläche der Probe S konstant ist, und eine Berechnungseinheit eines vorläufigen Wertes, ausgebildet zum Korrigieren des vorläufigen Wertes durch den berechneten Fehler, und die Analyseeinheit und die Korrektureinheit die Berechnung des Fehlers und die Korrektur des vorläufigen Wertes wiederholen. |
