| 摘要 |
本エンドエフェクタ(700)は、基板収容部に収容された複数の基板のうちの最下段の基板の下方または最上段の基板の上方に少なくとも一部が進入するハンド基部(701)と、ハンド基部(701)に設けられ、最下段の基板または最上段の基板を含む二枚以上の基板を支持するための基板保持手段(702)と、最下段の基板または最上段の基板に対向するハンド基部(701)の表面を含む基準面からの基板保持手段(702)の突出量を変更するための突出量変更手段(703)と、を備える。突出量変更手段(703)は、基板保持手段(702)の全体に対して駆動力を付与する単一の駆動源(706)を有する。 |
