| 摘要 |
パイロット弁構造は、主流胴体を有し、入口および出口と、外周部、可動部、ならびに第１および第２の側を備えるダイヤフラムとを有する主弁を備えるものとして説明される。主流オリフィスは、入口および出口の間の主流胴体に位置する。主弁プラグは、ダイヤフラムの可動部に取り付けおよび／または配置され、ダイヤフラムの可動部が第１の位置にあるときに流オリフィスを開き、第２の位置にあるときに流オリフィスを閉じる。パイロット弁は、主流胴体の流路に接続するパイロット弁入口をさらに備える。パイロット弁出口／オリフィスは、主弁プラグ内に配置され、主弁プラグと同じ場所に位置する。パイロット弁は、パイロット弁オリフィスを開閉するために移動可能であるパイロット弁プラグを備える。このようなパイロット弁構造を備える、関連したマスフローコントローラがさらに説明される。 |
