| 摘要 |
【課題】加工品質を向上できるレーザ加工方法及びレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ加工装置２００は、加工対象物１にレーザ光Ｌを集光させることにより、加工対象物１の内部に改質領域を形成する。レーザ加工装置２００は、レーザ光源２０２と、照射光学系２０４と、を備える。レーザ光源２０２は、波長変化に伴って加工対象物１の内部透過率が非線形を有して変化する波長範囲である透過率変化波長範囲における第１波長の第１レーザ光Ｌ１と、第１波長よりも大きく且つ加工対象物の内部透過率が５０％以上となる第２波長の第２レーザ光Ｌ２と、を同時に出力する。照射光学系２０４は、第１レーザ光Ｌ１を加工対象物１に照射すると共に、第２レーザ光Ｌ２を加工対象物１に照射する。【選択図】図７ |
