Mikromechanische Aktorvorrichtung und Verfahren zum Verkippen einer mikromechanischen Aktorvorrichtung

摘要

Die Erfindung schafft eine Aktorvorrichtung (100; 200, 300; 400) und ein Verfahren zum Verkippen einer Aktorvorrichtung. Das Verfahren umfasst die Schritte: Leiten (S01) von elektrischem Strom (I) durch eine elektrische Leitungseinrichtung (150; 250; 350), welche über eine Kippeinrichtung (110; 310) der Aktorvorrichtung (100; 200; 300; 400) geführt ist, innerhalb eines durch eine Permanentmagneteinrichtung (130-i; 230-i; 430-i) der Aktorvorrichtung (100; 200; 300; 400) erzeugten ersten Magnetfelds (11), sodass aufgrund einer Lorentzkraft (31, 32) ein Aktorelement (112; 312) der Kippeinrichtung (110; 310) entlang einer ersten Kippachse (A) verkippt wird; und Erzeugen (S02) eines zweiten Magnetfelds durch eine Elektromagneteinrichtung (125, 129) der Aktorvorrichtung (100; 200; 300; 400) im Bereich der Permanentmagneteinrichtung (130-i; 230-i; 430-i), sodass aufgrund von magnetischer Anziehung und Abstoßung die Kippeinrichtung (110; 310) entlang einer zweiten Kippachse (B) verkippt wird.