| 摘要 |
観察システム１０１Ａにおける画像処理方法は、半導体デバイスＳを対象に測定された測定画像Ｇ１Ｂと、測定画像Ｇ１Ｂに対応する半導体デバイスＳのパターンを示す第１のパターン画像Ｇ２Ｂを取得するステップと、半導体デバイスＳ或いは半導体デバイスＳとは異なる半導体デバイスである参照用半導体デバイスＳＲを対象に測定された参照用測定画像Ｇ３Ｂと、参照用測定画像Ｇ３Ｂに対応する参照用半導体デバイスＳＲのパターンを示す第２のパターン画像Ｇ４Ｂを取得するステップと、第１のパターン画像Ｇ２Ｂと第２のパターン画像Ｇ４Ｂとに基づいて、第１のパターン画像Ｇ２Ｂと第２のパターン画像Ｇ４Ｂとの相対関係を示すマッチング情報を取得するステップと、マッチング情報を基に、測定画像Ｇ１Ｂと参照用測定画像Ｇ３Ｂとの差分を求めることにより比較画像Ｇ５Ｂを取得するステップと、を備える。 |
