直動装置

摘要

直動装置は、固定子及び可動子を有するリニアモータと、リニアモータの可動子に設けられた複数の冷却手段と、複数の冷却手段のそれぞれについて、正常であるのか否かを検出する検出手段と、リニアモータの可動子の動作を所定の制御指標に応じて制御する制御手段とを備える。制御手段は、検出手段が少なくとも一つの冷却手段の異常を検出したときに、制御指標を変更するように構成されている。