| 发明名称 |
酸化物焼結体、その製造方法及びスパッタリングターゲット |
| 摘要 |
Ｉｎ２Ｏ３で構成されるビックスバイト相と、Ａ３Ｂ５Ｏ１２相（式中、ＡはＳｃ，Ｙ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ及びＬｕからなる群から選ばれる一以上の元素であり、ＢはＡｌ及びＧａからなる群から選ばれる一以上の元素である。）を含む酸化物焼結体。 |
| 申请公布号 |
JPWO2015098060(A1) |
申请公布日期 |
2017.03.23 |
| 申请号 |
JP20150554548 |
申请日期 |
2014.12.18 |
| 申请人 |
出光興産株式会社 |
发明人 |
笘井 重和;井上 一吉;江端 一晃;柴田 雅敏;宇都野 太;霍間 勇輝;石原 悠 |
| 分类号 |
C04B35/00;C23C14/08;C23C14/34;H01L21/336;H01L21/363;H01L29/786 |
主分类号 |
C04B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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