| 摘要 |
【課題】反射ミラーが搭載される投射光学系において鏡筒と反射ミラーとの相対位置を適切に調整することが可能であっても、反射ミラーの製造コストを低減することが可能な反射ミラーを提供する。【解決手段】凹曲面状の反射面を有する反射ミラー２において、反射面が形成される側の面をおもて面とし、おもて面の反対側の面を裏面２ｈとし、反射ミラー２の光軸Ｌ１に平行な方向をＺ方向とし、Ｚ方向のうちのおもて面から裏面２ｈへ向かう方向をＺ２方向とすると、反射ミラー２の裏面２ｈには、Ｚ方向に直交する平面２ｊと、平面２ｊの周囲の少なくとも一部からＺ２方向に向かって立ち上がる壁面２ｋとが形成されている。【選択図】図４ |
