| 摘要 |
【課題】組立てが容易で、外部からの振動や衝撃による誤検出が抑えられた、複数軸の慣性力を検出可能なセンサーデバイス、および、その製造方法を提供する。【解決手段】支持部材１０に固定され、第１方向（ｚ軸方向）に基づく方向の慣性力を検出する第１慣性センサー（第１センサーユニット）３０ｚ、および、第１方向と交差する第２方向（ｘ軸方向）に基づく方向の慣性力を検出する第２慣性センサー（第２センサーユニット）３０ｘを有するセンサーモジュール２と、センサーモジュール２を収容するパッケージ３と、を備え、センサーモジュール２は、第１方向を主たる弾性変形方向として支持部材１０に接続された第１弾性部材７０ｚを介してパッケージ３の第１内壁面６２ｚに支持され、第２方向を主たる弾性変形方向とする第２弾性部材７０ｘを介してパッケージ３の第２内壁面６２ｘに支持されていることを特徴とするセンサーデバイス１。【選択図】図２ |
