| 摘要 |
【課題】帯電量を正確に測定する。【解決手段】剥離制御（Ｓ１０２）の後で且つ吸着制御工程（Ｓ１０４）の前において、吸着前電位Ｖ１及び吸着前周波数ｆ１が取得される（Ｓ１０３）。また、吸着制御工程の開始後において、吸着後電位Ｖ２及び吸着後周波数ｆ２が取得される（Ｓ１０５）。そして、取得されたｆ１値、ｆ２値、Ｖ１値、Ｖ２値から帯電量Ｑ／Ｍ（ｎ）が算出される（Ｓ１０６）。１回目の帯電量Ｑ／Ｍ（ｎ）の取得の後に、吸着制御工程、ｆ２値及びＶ２値の取得（取得工程）、Ｑ／Ｍ（ｎ）値の算出（算出工程）を順に複数回繰り返すことで複数の帯電量Ｑ／Ｍ（ｎ）が算出される。そして、これらの値から、最終的な帯電量Ｑ／Ｍが決定される。【選択図】図８ |
