| 摘要 |
荷電キャリアを電荷中和目標物に送達するイオン化バーは、イオン化電圧の印加に応じて電荷キャリアのイオン雲を形成するイオンエミッターを備えることができる。開示のバーは、非イオン化電界をもたらし、イオンエミッターから離れるようにイオンを移動させる基準電極も備えることができる。開示のバーはマニフォールドも備えることができる。マニフォールドは、ガスを受け入れるとともに、そのガスを、或るパターンでイオンエミッターを通過するよう方向付けられる複数のガス流に分割し、それにより電荷キャリアをターゲットに向かって移動させることができる。マニフォールドは複数の開口を有することができ、これらの複数の開口にはノズル型インサートが受け入れられる。インサートのうちの少なくともいくつかは、ガスが流れることができる少なくとも１つの開口を有することができ、ノズルインサートは、１つ又は複数の所定のパターンでマニフォールドから離れてターゲットに向かうように、分割されたガス流を集合的に方向付けることができる。【選択図】図３Ａ |
