| 摘要 |
【課題】分光測定に有用な分光情報を精度良く得ることができる近接場分光装置を提供する。【解決手段】プローブ１１に白色光の測定光を導入して、プローブ１１の先端に近接場光を発生させる。プローブ１１の先端と試料１２の測定点との間の相対距離を所定の条件を満たす第１〜第４測定距離に設定して、第１〜第４測定距離のそれぞれで反射光の測定を行う。反射光を含む検出光がプローブ１１から分光検出部２４に送られ、波長ごとの分光データに変換される。波長ごとの各分光データに所定の演算を適用することにより、バックグランド成分を除去した分光測定データを算出する。同一の測定点に対して得られる複数の分光測定データを積算したものを最終的な分光測定データとする。【選択図】図１ |
