研磨装置

摘要

研磨装置，具有：使研磨工作台旋转的工作台旋转电动机；使顶环旋转的顶环旋转电动机；对研磨垫进行修整的修整器；测量研磨垫的高度的垫高测量器；和诊断部，根据研磨垫的高度计算研磨垫的损耗量，并根据研磨垫的损耗量、工作台旋转电动机的转矩或电流、和顶环旋转电动机的转矩或电流，确定研磨垫(22)的寿命。

主权项

一种研磨装置，具备：支撑研磨垫的研磨工作台；将基板按压在上述研磨垫的研磨面上的顶环；对上述研磨垫的上述研磨面进行修整的修整器；以及测量上述研磨垫的高度的垫高测量器，上述研磨装置的特征在于，还具备诊断部，该诊断部监视上述研磨垫的高度、以及上述研磨垫与上述基板之间的摩擦力，上述诊断部根据上述研磨垫的高度计算上述研磨垫的损耗量，并基于上述研磨垫的损耗量、以及上述摩擦力的变化，诊断上述研磨垫的上述研磨面的状态。