一种超紫外激光打标Fθ镜头及激光加工设备

摘要

一种超紫外激光打标Fθ镜头及镜头加工设备。该镜头包括沿入射激光的传输方向依次共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)、第四透镜(L4)；第一透镜(L1)为双凹负透镜，第二透镜(L2)为弯月形负透镜，第三透镜(L3)为弯月形正透镜，第四透镜(L4)为双凸正透镜，第二透镜(L2)和第三透镜(L3)的中间部分均向激光的传输方向凸出；第一、第二、第三及第四透镜的折射率与阿贝数的比例为1.476/68，公差为5％。通过四个透镜的形状及相对位置的设计，有效矫正了像散和畸变，且能量集中度高，实现了高质量成像打标，提高了成像质量，且镜头结构简单，便于涉及，适合用于各种激光加工设备中。

主权项

一种超紫外激光打标Fθ镜头，其特征在于，包括沿入射激光的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜及第四透镜；所述第一透镜为双凹负透镜，所述第二透镜为弯月形负透镜，所述第三透镜为弯月形正透镜，所述第四透镜为双凸正透镜；所述第二透镜和第三透镜的中间部分均向所述激光的传输方向凸出；所述第一透镜、第二透镜、第三透镜及第四透镜的折射率与阿贝数的比例为1.476/68，公差为5％；所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面，所述第四透镜包括第七曲面和第八曲面，所述第一至第八曲面沿激光传输方向依次排布；所述第一至第八曲面的曲率半径依次为：‑50mm，300mm，‑28mm，‑32mm，‑250mm，‑50mm，250mm，‑100mm，公差均为5％。