氮化镓衬底

摘要

一种氮化镓衬底，具有直径不小于100mm的表面，在边均具有2mm长度的各正方形区域处在微拉曼散射映射测量中的对应于E₂^H光子模式的峰值的最大峰值处的波数的最大值和最小值之间的差异不小于0.1cm^‑1且不大于2cm^‑1，正方形区域位于氮化镓衬底的表面上的包括中心位置和四个周边边缘位置的总共五个位置处，在这五个位置中的所有测量点处的对应于E₂^H光子模式的峰值的最大峰值处的波数的最大值和最小值之间的差异不大于2cm^‑1。

主权项

一种氮化镓衬底，所述氮化镓衬底包括直径不小于100mm的表面，在每一条边均具有2mm的长度的每一个正方形区域，在微拉曼散射映射测量中的对应于E₂^H光子模式的峰值的最大峰值处，波数的最大值和最小值之间的差异不小于0.1cm^‑1且不大于2cm^‑1，所述正方形区域位于包括所述氮化镓衬底的表面上的中心位置和四个周边边缘位置的总共五个位置处，所述五个位置处的所有测量点处的对应于E₂^H光子模式的峰值的最大峰值处的波数的最大值和最小值之间的差异不大于2cm^‑1。