一种LED芯片的图形化基板结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种LED芯片的图形化基板结构及其制备方法，涉及半导体制备技术领域。本发明通过图形化处理在基板上形成具有反射层的凹坑群，凹坑剖面结构的侧边与水平方向形成一定的角度，以对LED芯片端面出射的光线进行反射来改变其传播方向，从而减少光的吸收与损耗，有效提高了LED的出光效率。同时，本发明提出了其相应的制备方法，能够清晰、明确地制备得到该种图形化基板。

主权项

一种用于LED芯片的图形化基板结构，包括第一区域(A)和第二区域(B)，所述的第一区域(A)位于所述图形化基板结构的正中位置，用于放置所述LED芯片；所述的第二区域(B)环绕着第一区域(A)，其中分布有凹坑群，所述的凹坑群由多个凹坑结构组成，所述的凹坑结构内表面覆盖有反射层，用于反射所述LED芯片有源区的出射光线。