基板清洁干燥装置及其节能方法

摘要

本发明提供一种基板清洁干燥装置及其节能方法，该基板清洁干燥装置的进料口处设有传感器，该传感器在进料口处有基板进入和无基板进入时能够感应到不同的感应信号，通过将该不同的感应信号提供给处理器，处理器即可判定是否有基板进入进料口，并在有基板进入进料口时通过变频器控制增压泵以正常转速运转，在没有基板进入进料口时通过变频器控制增压泵以低于正常转速的转速运转，从而在不影响基板清洁干燥装置正常工作的前提下，使基板清洁干燥装置空闲时增压泵的转速降低，降低基板清洁干燥装置的能耗，延长基板清洁干燥装置的使用寿命，减小维护频率，降低生产成本，提升生产效率。

主权项

一种基板清洁干燥装置，其特征在于，包括：上料机构(1)、与所述上料机构(1)相连的工作腔室(2)、与所述工作腔室(2)相连的增压泵(3)、与所述增压泵(3)相连的变频器(4)、与所述变频器(4)相连的中央处理器(5)；所述上料机构(1)包括数个进料口(11)，每一个进料口(11)处均对应设有一与所述中央处理器(5)相连的传感器(12)，所述传感器(12)提供感应信号给中央处理器(5)，所述中央处理器(5)根据传感器(12)提供的感应信号判定是否有基板进入进料口(11)，并在有基板进入时通过变频器(4)控制增压泵(3)以正常转速运转，在没有基板进入时通过变频器(4)控制增压泵(3)以低于正常转速的转速运转。