发明名称 |
LDI自动聚焦控制方法及系统 |
摘要 |
本发明提供了一种LDI自动聚焦控制方法及系统,涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域,其中,一种LDI自动聚焦控制方法,包括以下步骤:控制镜筒向聚焦平台输出成像信息;通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息;根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上,并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息;所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。解决了现有技术中存在的硬件成本较高,维护清洁麻烦的技术问题,达到了通过调整聚焦平台在Z轴方向的位置使镜筒聚焦于聚焦平台上的技术效果,结构简单,操作、维修方便。 |
申请公布号 |
CN106527053A |
申请公布日期 |
2017.03.22 |
申请号 |
CN201611061209.4 |
申请日期 |
2016.11.25 |
申请人 |
天津津芯微电子科技有限公司 |
发明人 |
杨振玲 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
代理人 |
马维丽 |
主权项 |
一种LDI自动聚焦控制方法,其特征在于,包括以下步骤:控制镜筒向聚焦平台输出成像信息;通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息;根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上,并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息;所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。 |
地址 |
300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路167号133、302、303、305、306、307、309、310 |