一种轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构的制备方法

摘要

本发明提供了一种轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构的制备方法，首先在基底上表面涂覆释放层，得到涂覆有释放层的基底；在释放层表面制备纵向圆形微同轴金属结构，得到轴向与基底垂直的圆形微同轴金属结构；将释放层去除，使圆形微同轴金属结构与基底分离，将圆形微同轴金属结构横向与基底键合，得到轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构。本发明提供的制备方法解决了现有微米级同轴结构制备中横向圆柱结构难以实现的问题，避免了目前三维结构多层工艺连续加工中面临的中心对准困难及侧壁粗糙度大等问题，制备得到的轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构作为微器件的连接器件，有利于提高微器件的集成度。

主权项

一种轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构的制备方法，包括以下步骤：在基底上表面涂覆释放层；在所述释放层表面制备纵向圆形微同轴金属结构，得到轴向与基底垂直的圆形微同轴金属结构；去除所述轴向与基底垂直的圆形微同轴金属结构中的释放层，使圆形微同轴金属结构与基底分离，圆形微同轴金属结构再横向与基底键合，得到轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构。