蒸镀坩埚及蒸镀设备

摘要

本实用新型提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀设备，其中所述蒸镀坩埚包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有一用于容置有机材料的容置腔；设置在所述坩埚本体的容置腔内的防爆沸板；及设置在所述坩埚本体的容置腔的开口处的盖体，所述盖体上设有喷嘴；所述防爆沸板上分布有多个通孔，所述通孔的内径小于预设值。本实用新型所提供的蒸镀坩埚，通过对蒸镀坩埚内的防爆沸板进行改进，将防爆粉板设计为内孔式结构，在其上分布多个通孔，可以解决现有技术中由于防爆沸板的开孔面积较大而易导致材料飞溅或者材料灰化产生的杂质直接蒸镀到器件表面上或者蒸镀到传感器上导致器件产生不良或蒸镀速率波动等问题，提高器件整体良率，确保器件性能。

主权项

一种蒸镀坩埚，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有一用于容置有机材料的容置腔；设置在所述坩埚本体的容置腔内的防爆沸板；以及，设置在所述坩埚本体的容置腔的开口处的盖体，所述盖体上设有喷嘴；其特征在于，所述防爆沸板上分布有多个通孔，所述通孔的内径小于预设值。