一种梯度折射率波导装置及其制备方法

摘要

本发明涉及一种梯度折射率波导装置及其制备方法，包括GRIN透镜以及包层，GRIN透镜包括衬底、波导层和至少两个GRIN层，最底层的GRIN层沉积在衬底上，所述波导层位于任意相邻的两个GRIN层之间，所述包层包裹在GRIN透镜外侧，由最顶层的GRIN层或最底层的GRIN层向波导层的折射率逐渐变大。本发明解决了现有的波导装置中的GRIN透镜无法进行逐层光刻和刻蚀，导致保真度下降，精度降低的技术问题，本发明GRIN透镜是由PLC技术制作的，PLC技术的优点是可以将GRIN透镜中GRIN层和波导层集成在同一个芯片上，采用PLC技术的GRIN透镜具有单片集成，成本低、可靠性好的优点。

主权项

一种梯度折射率波导装置，包括GRIN透镜以及包层，其特征在于：所述GRIN透镜包括波导层和至少两个GRIN层，所述波导层位于任意两个GRIN层之间，所述包层包裹在GRIN透镜外侧，衬底位于最底层，由最顶层的GRIN层或最底层的GRIN层向波导层的折射率逐渐变大；每个GRIN层包括至少两个GRIN子层，所述波导层包括至少两个波导子层。