| 发明名称 | 制造MEMS微镜组件的方法 | ||
| 摘要 | 根据本发明，提供一种制造MEMS微镜组件(250)的方法，该方法包括将PCB板(205)安装到金属板(206)上、将MEMS装置(240)安装到PCB板(205)上的步骤，其中该MEMS装置(240)包括MEMS管芯(241)和磁体(230)。 | ||
| 申请公布号 | CN104145203B | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201380013164.1 | 申请日期 | 2013.02.21 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | F.克赫查纳;N.阿贝勒 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 佘鹏;傅永霄 |
| 主权项 | 一种制造MEMS微镜组件（250）的方法，所述方法包括如下步骤：将PCB板（205）安装到金属板（206）上；将MEMS装置（240）安装到所述PCB板（205）上，其中所述MEMS装置（240）包括MEMS管芯（241）和磁体（231）;将对准掩模安装到所述PCB板上，其中所述对准掩模包括网格；在将一个或多个MEMS装置安装到所述PCB板上时使用所述对准掩模的网格将所述一个或多个MEMS装置定位到所述PCB板上;其中使用所述对准掩模的网格将所述一个或多个MEMS装置定位到所述PCB板上的步骤包括将单个MEMS装置定位在所述网格中限定的一个或多个开孔中、以及将所述一个或多个MEMS装置布置成使得所述一个或多个MEMS装置的至少第一侧面和第二侧面与所述网格接触。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||