发明名称 |
一种乙硅烷反应釜 |
摘要 |
本实用新型公开了一种乙硅烷反应釜,包括连接反应釜的加料系统、储槽,反应釜上方的出口,反应釜底部的排渣口,和反应釜内安装的高剪力型叶片搅拌器;所述加料系统内装有硅化镁和氯化铵,所述储槽内装有液氨,所述出口排出硅烷反应混合物,所述排渣口排出反应杂物,其特征在于,所述排渣口与水平面的夹角为30‑60度,所述反应釜外设置有夹套,在所述夹套内设置防爆材料。由于本实用新型的反应釜选择了优化设计,尤其是排渣口的夹角的设计,提高了排渣速度,节省了反应时间,生产成本较低,设备腐蚀性减小,可以连续稳定化生产。 |
申请公布号 |
CN206033262U |
申请公布日期 |
2017.03.22 |
申请号 |
CN201620823605.5 |
申请日期 |
2016.08.02 |
申请人 |
浙江迅鼎半导体材料科技有限公司 |
发明人 |
黄晓东 |
分类号 |
C01B33/04(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种乙硅烷反应釜,其特征在于,包括连接反应釜的加料系统、储槽,反应釜上方的出口,反应釜底部的排渣口,和反应釜内安装的高剪力型叶片搅拌器;所述加料系统内装有硅化镁和氯化铵,所述储槽内装有液氨,所述出口排出硅烷反应混合物,所述排渣口排出反应杂物,所述排渣口与水平面的夹角为30‑60度,所述反应釜外设置有夹套,在所述夹套内设置防爆材料。 |
地址 |
313000 浙江省湖州市红丰路1366号3幢1207-26室 |