| 发明名称 | 静电键合设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种静电键合设备，该设备包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000)，静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室，手套箱设备(0000)内部设置有手套箱；静电键合室与手套箱之间设立连接通道(0002)，连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移。本实用新型利用连接通道使手套箱和静电键合室连接在一起，保证了整个操作环境的洁净度，保证了操作环境与氧气、水汽隔绝，避免了厌氧、怕水汽的对象在操运过程中接触氧气和水汽的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN206033222U | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201620795392.X | 申请日期 | 2016.07.26 |
| 申请人 | 中国科学院声学研究所 | 发明人 | 汤亮;张忠山;季磊;支萌辉;齐敏;孙泉;乔东海;张倩 |
| 分类号 | B81C3/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 | 代理人 | 陈霁 |
| 主权项 | 一种静电键合设备，包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000)；其特征在于，所述静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室，所述手套箱设备(0000)内部设置有手套箱；所述静电键合室与所述手套箱之间设立连接通道(0002)，所述连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区北四环西路21号 | ||