复合铜线互连结构及形成方法

摘要

各种实施例包括互连结构以及形成这种结构的方法。互连结构可以包括复合铜线，所述复合铜线包括至少两个不同的铜部分。最上面的铜部分可以具有大约1微米或更小的厚度，这抑制最上面部分中的表面粗糙化，并且有助于增强与覆层的帽粘附。

主权项

一种互连结构，包括：具有凹口的衬底，所述凹口具有底表面和侧壁；在衬底中凹口内形成的复合铜线，所述复合铜线包括：在所述凹口的底表面和侧壁之上的衬垫层；在所述衬垫层之上的第一铜层，所述第一铜层具有大约两微米或更大的第一厚度；在所述第一铜层之上的铜晶粒生长阻挡层；以及在所述铜晶粒生长阻挡层之上的第二铜层，所述第二铜层具有基本上比第一厚度小的第二厚度，所述第二厚度抑制第二铜层中的表面粗糙度。