一种微孔内表面粗糙度的检测方法及其装置

摘要

本发明提供了一种微孔内表面粗糙度的检测方法及其装置，采集经粗糙面强度调制的不同位置的漫散射光通量进行粗糙度评定，两组光通量产生电压的比值与粗糙度成非线性关系，先将已知粗糙度的微孔进行标定，再将待测微孔与标定值进行对比，即检测出待测微孔的粗糙度。本发明解决了现有技术中传感器无法伸入微孔的问题，传感器角度变化灵活方便，测量精度高、效率高。

主权项

一种微孔内表面粗糙度的检测方法，其特征在于包括以下步骤：1)将激光发射器，光电探测器导通电源，预热10‑30分钟；2)将已知微孔内壁粗糙度的标准样块放置在三维工作台上，并用夹具固定，调整三维工作台，使RIM_FOS传感器发射激光在经过微孔轴线的平面上，与标准样块间距为2‑4mm，并调整传感器夹具使RIM_FOS传感器与水平面呈30‑60°；3)由光电探测器采集激光经标准样块微孔内部粗糙度调制后的两组光通量，将数据处理得到相应电压U₁和U₂后保存于上位机中；4)选择若干已知微孔内壁粗糙度的标准样块，重复步骤2)3)，上位机将所得数据进行处理，分别记录各微孔对应的两组光通量产生的电压U₁和U₂的比值，由于微孔内壁粗糙度σ²和两组光通量产生的电压U₁和U₂的比值成非线性关系：根据统计的数据对f(x)进行标定；5)将步骤2)中的标准样块换成待测样块，重复步骤2)3)，将所得U₁和U₂带入公式中，实现对待测微孔内部粗糙度的评定。