衬底处理设备

摘要

本发明提供一种衬底处理设备，包含：管，其提供内部空间，在所述内部空间中处理衬底；衬底支撑部分，其在管的内部空间中以多层堆叠多个衬底；气体供应部分，其将处理气体供应到多个衬底；排气部分，其安置成面向气体供应部分以吸收处理气体；以及流动调节部分，其具有沿着在气体供应部分与排气部分之间的管的圆周形成的喷洒开口以喷洒调节气体，并且能够通过调节处理气体的流动控制供应到衬底的上表面的处理气体的量，可以改进衬底处理过程的效率。

主权项

一种衬底处理设备，其特征在于，包括：管，其提供内部空间，在所述内部空间中处理衬底；衬底支撑部分，其在所述管的所述内部空间中以多层堆叠所述衬底；气体供应部分，其将处理气体供应到所述衬底；排气部分，其安置成面向所述气体供应部分以吸收所述处理气体；以及流动调节部分，其具有沿着在所述气体供应部分与所述排气部分之间的所述管的圆周形成的喷洒开口以喷洒调节气体。