发明名称 |
一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置 |
摘要 |
本发明公开了一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,在放电室的顶端固定有放电室盖板,在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器,所述的放电室固定安装在探针板上,在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针,所述的磁滤器安装在探针板的下面,所述的锥形支撑座位于探针板的下方,电极系统安装在锥形支撑座上,在锥形支撑座上设有两层金属法兰,所述的支撑环氧位于两层金属法兰之间,在锥形支撑座上还设有冷却水管一,所述的冷却水管一的两端分别位于金属法兰上。本发明通过RF驱动器产生稳定的长脉冲等离子体,在铯注入器的帮助下提高负氢离子的产出,通过引出系统引出束流,束流密度达到350A/m<sup>2</sup>。 |
申请公布号 |
CN106531600A |
申请公布日期 |
2017.03.22 |
申请号 |
CN201610888553.4 |
申请日期 |
2016.10.11 |
申请人 |
中国科学院合肥物质科学研究院 |
发明人 |
韦江龙;顾玉明;李军;谢亚红;谢远来;胡纯栋;梁立振;邑伟;陶玲;杨思皓 |
分类号 |
H01J37/08(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/08(2006.01)I |
代理机构 |
安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 |
代理人 |
余成俊 |
主权项 |
一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,其特征在于:包括有铯注入器、RF驱动器、放电室、探针板、电极系统、锥形支撑座、金属法兰、支撑环氧、磁滤器和四层永久磁铁,在放电室的顶端固定有放电室盖板,在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器,所述的放电室固定安装在探针板上,在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针,所述的磁滤器安装在探针板的下面,所述的锥形支撑座位于探针板的下方,电极系统安装在锥形支撑座上,在锥形支撑座上设有两层金属法兰,所述的支撑环氧位于两层金属法兰之间,在锥形支撑座上还设有冷却水管一,所述的冷却水管一的两端分别位于金属法兰上,冷却水管一的中间部分穿过所述的电极系统,所述的四层永久磁铁环绕安装在放电室的外围。 |
地址 |
230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号 |