一种三明治对位图形转移工艺

摘要

本发明公开一种三明治对位图形转移工艺，包括以下具体步骤：制作底片、架底片、三明治对位、上板定位、曝光和下板。通过上述方式，本发明提供一种三明治对位图形转移工艺，针对现有对位工艺易造成层间错位和偏移的问题，本发明采用4～6个蝶形靶标孔，能实现高精度的三明治对位，极大提高生产效率，同时免去对位设备的采购成本，提高生产利润。

主权项

一种三明治对位图形转移工艺，其特征在于，包括以下具体步骤：a、制作底片，在底片BOT面边缘绘制4～6个蝶形靶标，在底片TOP面边缘绘制4～6个与BOT面的蝶形靶标大小和位置相适应的蝶形靶标孔；b、架底片，将底片TOP面层叠于BOT面之上；c、三明治对位，将底片上绘制的蝶形靶标对位至蝶形靶标孔内后对底片进行固定；d、上板定位，在底片TOP面与BOT面之间夹入SUS材料定位；e、曝光和下板，将定位完成的底片进行曝光处理后将SUS材料下板。