| 发明名称 | 基板清洁干燥装置及其维护方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板清洁干燥装置及其维护方法，其通过将基板清洁干燥装置中两个基板清洁干燥单元的进气通路和出气通路分别通过两个三通阀连接到一起，使得当其中一个基板清洁干燥单元的增压泵出现故障需要维护时，可在维护期间利用另一个基板清洁干燥单元的增压泵来继续工作，从而减少因增压泵出现故障而导致基板清洁干燥单元无法工作的问题，能够提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN106526915A | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201611067009.X | 申请日期 | 2016.11.28 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 苏彦荧 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种基板清洁干燥装置，其特征在于，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元(1)；每一个基板清洁干燥单元(1)均包括：工作舱(11)、增压泵(12)、第一三通阀(13)、以及第二三通阀(14)；所述工作舱(11)上设有工作舱出气口(111)、以及工作舱进气口(112)；所述增压泵(12)上设有增压泵进气口(121)、以及增压泵出气口(122)；每一个基板清洁干燥单元(1)中，所述第一三通阀(13)的进气口连接所述工作舱出气口(111)，主出气口连接所述增压泵进气口(121)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)的副出气口；所述第二三通阀(14)的进气口连接所述增压泵出气口(122)，主出气口连接所述工作舱进气口(112)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第二三通阀(14)的副出气口。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||