一种基于平面杂化波导的石墨烯电光调制器

摘要

本发明提供了一种基于平面杂化波导的石墨烯电光调制器，包括衬底、设置在衬底表面的波导层、以及依次设置在波导层上的第一石墨烯层、电容层、第二石墨烯层和金属层；第一石墨烯层与波导层之间通过第一低折射率介质层隔离，第二石墨烯层与金属层之间通过第二低折射率介质层隔离，波导层、第一石墨烯层、电容层、第二石墨烯层和金属层在垂直于衬底方向上重叠；波导层材质包括高折射率介质或贵金属；石墨烯电光调制器还包括平行于衬底且互相垂直的第一方向和第二方向，第一方向与光传输方向平行；在第二方向上，第一石墨烯层和第二石墨烯层包括向相反方向延伸的延伸端，第一石墨烯层的延伸端上设有第一电极，第二石墨烯层的延伸端上设有第二电极。

主权项

一种基于平面杂化波导的石墨烯电光调制器，其特征在于，包括衬底、设置在所述衬底表面的波导层、以及依次设置在所述波导层上的第一石墨烯层、电容层、第二石墨烯层和金属层；所述第一石墨烯层与所述波导层之间通过第一低折射率介质层隔离，所述第二石墨烯层与所述金属层之间通过第二低折射率介质层隔离，所述波导层、所述第一石墨烯层、所述电容层、所述第二石墨烯层和所述金属层在垂直于所述衬底方向上重叠；所述波导层材质包括高折射率介质或贵金属，所述高折射率介质的折射率高于第一低折射率介质和第二低折射率介质；所述金属层的材质包括贵金属；所述石墨烯电光调制器还包括平行于所述衬底且互相垂直的第一方向和第二方向，所述第一方向与光传输方向平行；在所述第二方向上，所述第一石墨烯层和所述第二石墨烯层包括向相反方向延伸的延伸端，所述第一石墨烯层的延伸端上设有第一电极，所述第二石墨烯层的延伸端上设有第二电极。