| 发明名称 | 微电子装置和相对应的用于微电子装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及微电子装置和相对应的用于微电子装置的制造方法。本发明提出了一种用于探测电磁波的微电子装置（100）。该微电子装置（100）包括：传感器衬底（10），所述传感器衬底（10）具有装配面（11）和至少一个探测区域（15）；和被布置在所述装配面（11）上的至少一个透镜衬底。所述至少一个透镜衬底具有至少一个空腔（K1），而且所述至少一个空腔（K1）密封地包围所述至少一个在衬底级上的探测区域（15）。 | ||
| 申请公布号 | CN106525250A | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201610812666.6 | 申请日期 | 2016.09.09 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | F.乌特默伦;F.亨里奇;I.赫尔曼 |
| 分类号 | G01J5/12(2006.01)I;G01J5/20(2006.01)I;G01J5/10(2006.01)I | 主分类号 | G01J5/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 胡莉莉;杜荔南 |
| 主权项 | 用于探测电磁波的微电子装置（100），所述微电子装置（100）包括：具有装配面（11）和至少一个探测区域（15）的传感器衬底（10）；和至少一个透镜衬底（20），所述透镜衬底（20）被布置在所述装配面（11）上；其中所述至少一个透镜衬底（20）具有至少一个空腔（K1）并且所述至少一个空腔（K1）密封地包围在衬底级上的所述至少一个探测区域（15）。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||