发明名称 一种新型光罩存储盒
摘要 一种新型光罩存储盒,包括盒体,盒体侧部设有与盒体内部连通的放置口,放置口上设有与盒体上部铰接的前板,前板与盒体下部通过锁扣固连;盒体顶面为透明的,且盒体顶面上设有加强筋;在盒体的内底面上固设有防磨件和感应件,防磨件与盒体侧面贴合;盒体的外底面上固设有4~10个支撑件。本实用新型使用方便,设置的前板方便了对光罩的放置,避免了光罩过多的接触空气;设于盒体内底面上的防磨件避免了对光罩的磨损;实现了光罩的放置,避免了光罩直接接触空气,造成的光罩污染。
申请公布号 CN206039143U 申请公布日期 2017.03.22
申请号 CN201621029552.6 申请日期 2016.08.31
申请人 苏州慧桥自动化设备有限公司 发明人 张剑鸣
分类号 G03F1/66(2012.01)I 主分类号 G03F1/66(2012.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种新型光罩存储盒,包括矩形盒体,其特征在于:盒体的任意3 个侧部上均设有与盒体内部连通的放置口,放置口上设有与盒体上部铰接的前板,前板与盒体下部通过锁扣固连;盒体顶面为透明的,且盒体的顶面上设有加强筋;在盒体的内底面上固设有防磨件和感应件,防磨件的数量为4~10 个,防磨件均匀分布于盒体内底面上,其中防磨件临近盒体内底面的边缘设置;感应件包括两个分别设置于盒体内侧壁和外侧壁上的机械式感应部;盒体的外底面上固设有4~10 个支撑件,支撑件的数量为偶数。
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