一种四自由度压电微夹钳

摘要

本发明公开了一种四自由度压电微夹钳，优点是该压电微夹钳可使每个钳指都可实现夹持方向和垂直于夹持方向的动作，即每个钳指具有两个方向的自由度，整个压电微夹钳具有四个自由度，从而可省掉微装配与微操作系统的部分前端执行机构，降低了系统的设计难度与复杂度，减小了系统的质量和体积，也降低了系统的成本。

主权项

一种四自由度压电微夹钳，包括上压电陶瓷晶片和下压电陶瓷晶片，所述的上压电陶瓷晶片和所述的下压电陶瓷晶片上下粘结固定且相互绝缘，所述的上压电陶瓷晶片包括上支撑部和一体连接在所述的上支撑部的左上钳指部和右上钳指部，所述的左上钳指部和所述的右上钳指部沿所述的上支撑部的中心线对称，所述的左上钳指部的自由端和所述的右上钳指部的自由端分别一体设置有可用于安装不同夹持头的上扩展部，所述的下压电陶瓷晶片包括下支撑部和一体连接在所述的下支撑部的左下钳指部和右下钳指部，所述的左下钳指部和所述的右下钳指部沿所述的下支撑部的中心线对称，所述的左下钳指部的自由端和所述的右下钳指部的自由端分别一体设置有可用于安装不同夹持头的下扩展部，所述的上支撑部与所述的下支撑部、所述的左上钳指部与所述的左下钳指部、所述的右上钳指部和所述的右下钳指部、所述的上扩展部与所述的下扩展部分别对齐，所述的左上钳指部的非粘结面上固定有相互独立且并排设置的第一左上电极、第二左上电极和第三左上电极，所述的第一左上电极、所述的第二左上电极和所述的第三左上电极分别对应一体连接有第一左上电极引出脚、第二左上电极引出脚和第三左上电极引出脚，所述的右上钳指部的非粘结面上固定有相互独立且并排设置的第一右上电极、第二右上电极和第三右上电极，所述的第一右上电极、所述的第二右上电极和所述的第三右上电极分别对应一体连接有第一右上电极引出脚、第二右上电极引出脚和第三右上电极引出脚，所述的左下钳指部的非粘结面上固定有相互独立且并排设置的第一左下电极、第二左下电极和第三左下电极，所述的第一左下电极、所述的第二左下电极和所述的第三左下电极分别对应一体连接有第一左下电极引出脚、第二左下电极引出脚和第三左下电极引出脚，所述的右下钳指部的非粘结面上固定有相互独立且并排设置的第一右下电极、第二右下电极和第三右下电极，所述的第一右下电极、所述的第二右下电极和所述的第三右下电极分别对应一体连接有第一右下电极引出脚、第二右下电极引出脚和第三右下电极引出脚，所述的第一左上电极与所述的第一左下电极、所述的第二左上电极与所述的第二左下电极、所述的第三左上电极与所述的第三左下电极、所述的第一右上电极与所述的第一右下电极、所述的第二右上电极与所述的第二右下电极、所述的第三右上电极与所述的第三右下电极分别上下对齐，所述的第一左上电极引出脚与所述的第三左下电极引出脚电连接，所述的第二左上电极引出脚与所述的第二左下电极引出脚电连接，所述的第三左上电极引出脚与所述的第一左下电极引出脚电连接，所述的第一右上电极引出脚与所述的第三右下电极引出脚电连接，所述的第二右上电极引出脚与所述的第二右下电极引出脚电连接，所述的第三右上电极引出脚与所述的第一右下电极引出脚电连接，其特征在于：所述的第一左上电极引出脚、所述的第二左上电极引出脚、所述的第三左上电极引出脚、所述的第一右上电极引出脚、所述的第二右上电极引出脚和所述的第三右上电极引出脚分别独立固定设置在所述的上支撑部的非粘结面上，所述的第一左下电极引出脚、所述的第二左下电极引出脚、所述的第三左下电极引出脚、所述的第一右下电极引出脚、所述的第二右下电极引出脚和所述的第三右下电极引出脚分别独立固定设置在所述的下支撑部的非粘结面上，所述的左下钳指部的粘结面上固定有第四左下电极，所述的第四左下电极与所述的第二左上电极、所述的第二左下电极上下对齐，所述的右下钳指部的粘结面上固定有第四右下电极，所述的第四右下电极与所述的第二右上电极、所述的第二右下电极上下对齐，所述的第四左下电极上一体连接有第四左下电极引出脚，所述的第四右下电极上一体连接有第四右下电极引出脚，所述的第四左下电极引出脚与所述的第四右下电极引出脚分别独立固定在所述的下支撑部的粘结面上。