用于纳米压印的模具的制造方法

摘要

提供了一种用于纳米压印的模具的制造方法，所述方法包括：在基板上形成多个栅格图案；在所述栅格图案上形成金属栅格图案；在所述金属栅格图案上形成镀层；以及将由所述金属栅格图案和所述镀层组成的模具与所述栅格图案分离，这可以降低生产成本，提高工艺效率，并且提供具有改善的耐用性和可靠性的用于纳米压印的模具。

主权项

一种用于纳米压印的模具的制造方法，包括：在基板上形成多个栅格图案；在所述栅格图案上形成金属栅格图案；在所述金属栅格图案上形成镀层；以及将由所述金属栅格图案和所述镀层组成的模具与所述栅格图案分离，其中，所述栅格图案包括凸起图案以及形成在各凸起图案之间的凹槽，其中，所述金属栅格图案形成在所述凸起图案上，其中，所述金属栅格图案以固定的周期排列。