| 发明名称 | 使用二烷基羟胺来对抗分解以使三(2‑羟乙基)甲基氢氧化铵稳定化 | ||
| 摘要 | 本发明提供了在各种应用中用作原料的经稳定化的溶液以及使用包含一种或多种二烷基羟胺或者其无机或有机酸盐的稳定剂来使这样的水性溶液稳定化的方法。经稳定化的溶液以及用于使其水性溶液稳定化的方法包括，例如，三(2‑羟乙基)甲基氢氧化铵(THEMAH)和/或碳酰肼(CHZ)的那些。 | ||
| 申请公布号 | CN106536668A | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201580039281.4 | 申请日期 | 2015.07.17 |
| 申请人 | 嘉柏微电子材料股份公司 | 发明人 | R.伊万诺夫;柯政远;F.孙 |
| 分类号 | C09K3/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邢岳 |
| 主权项 | 用于使三(2‑羟乙基)甲基氢氧化铵(THEMAH)的水性溶液稳定化的方法，包括：向THEMAH的水性溶液中添加稳定剂，所述稳定剂包含一种或多种二烷基羟胺或者其无机或有机酸盐。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||