对基板作业装置

摘要

在对基板作业系统中，CPU取得包括每个基板的多个对基板作业中的各对基板作业与头的种类的对应关系及相同基板内的多个对基板作业中的两个以上的对基板作业之间的优先顺序在内的作业信息(步骤S100)。并且，在进行基于所取得的对应关系的对基板作业时，在不存在使用头保持体正保持的头能够在遵守优先顺序的同时对由第一通道和第二通道中的一个通道(作业通道)所搬运的基板执行的对基板作业(在步骤S130中为“否”)、且存在使用正保持的头能够在遵守优先顺序的同时对由另一个通道所搬运的基板执行的对基板作业的情况(在步骤S180中为“是”)下，CPU控制头保持体和移动部，以进行能够在另一个通道中执行的对基板作业，而不更换正保持的头(步骤S190、S140)。

主权项

一种对基板作业装置，具备：收纳单元，具有多个收纳部，所述多个收纳部能够收纳对基板进行对基板作业的多种对基板作业单元；保持单元，以能够更换的方式保持所述对基板作业单元；移动单元，使所述保持单元移动；第一通道及第二通道，用于搬运所述基板；对应关系取得单元，取得每个所述基板的多个对基板作业中的各对基板作业与所述对基板作业单元的种类的对应关系；优先顺序取得单元，取得相同基板内的所述多个对基板作业中的两个以上的对基板作业之间的优先顺序；及控制单元，当进行基于所取得的所述对应关系的所述对基板作业时，在不存在使用所述保持单元正保持的对基板作业单元能够在遵守所述优先顺序的同时对由所述第一通道和所述第二通道中的一个通道所搬运的基板执行的对基板作业、且存在使用所述正保持的对基板作业单元能够在遵守所述优先顺序的同时对由另一个通道所搬运的基板执行的对基板作业的情况下，控制所述保持单元和所述移动单元，以进行能够在所述另一个通道中执行的对基板作业，而不更换所述正保持的对基板作业单元。