适用于超高真空环境的紧凑型无液氦1K低温制冷装置

摘要

本发明提供了一种适用于超高真空环境的紧凑型无液氦1K低温制冷装置，包括输气管、预冷端、防护罩、减压池以及抽气设备。实施本发明的有益效果是：1、防护罩减少了制冷机暴露在真空腔体中的表面积，可用于超高真空环境；2、以防护罩作为制冷工质的回流通道，提高了回流管道的流导，保证减压池中的液态制冷工质有较低的蒸气压，可以达到更低的制冷温度。3、在降温初期，该回流通道可充入氦气交换气，来对减压池部位快速降温，缩短降温时间。4、防护罩第二段的设计提高了整体的换热效率。5、该制冷设备具有结构紧凑、容易拆装维护、制冷量可调节等优点。

主权项

适用于超高真空环境的紧凑型无液氦1K低温制冷装置，其特征在于：包括输气管、预冷端、防护罩、减压池以及抽气设备；所述输气管依次包括进气端、预冷换热段、回流换热段以及出气端；所述防护罩内设有回流通道，所述回流通道包括回流入口以及回流出口；所述减压池包括第一开口以及第二开口；所述输气管进气端与输气设备连接，所述出气端与所述第一开口连通；所述预冷端用于冷却所述预冷换热段；所述回流换热段位于所述回流通道内并与所述回流通道内的制冷工质进行热交换；所述回流入口与所述第二开口连通；所述回流出口与所述抽气设备对接；所述制冷装置稳定工作时，所述输气设备将制冷工质输送进所述进气端，制冷工质依次正向经过所述预冷换热段、回流换热段、出气端、第一开口、减压池内部，然后逆向经过第二开口、回流入口、回流出口，随后进入所述抽气设备。