一种多功能X射线定向仪

摘要

一种多功能X射线定向仪，属于单晶材料加工领域；该仪器包括：工作台、防辐射保护罩、X射线发生系统、衍射线接收系统、晶体样品旋转台和计算机控制系统；晶体样品旋转台中的样品放置台可通过拆卸螺栓进行更换；本实用新型集多种单晶材料用X射线定向仪于一体，这种一体化的设计可以降低设备成本、保证产品一致性，显著提高生产效率。

主权项

一种多功能X射线定向仪，包括计算机控制系统，所述计算机控制系统包括采样器、PLC控制模块、工业用PC机，采样器的输出端与PLC控制模块输入端相连接，工业用PC机与PLC控制模块相连，其特征在于，包括：工作台、防辐射保护罩、X射线发生系统、衍射线接收系统和晶体样品旋转台；所述工作台上方设有防辐射保护罩；所述X射线发生系统包括：X射线用高压电源、X射线发生器支架、X射线发生器和单色器，X射线用高压电源设置在工作台下方，并与X射线发生器连接，X射线发生器通过X射线发生器支架固定在工作台上，单色器固定在X射线发生器上，使X射线发生器发出射线照射在单色器上，且经过单色器过滤的X射线能够照射在晶片样品旋转台上待测晶片的中心；所述衍射线接收系统包括闪烁探测器、闪烁探测器支架和信号调理模块，用于接收待测晶片衍射的X射线的闪烁探测器通过闪烁探测器支架固定在工作台上，闪烁探测器与信号调理模块连接，信号调理模块放置于工作台下方，信号调理模块与采样器的采样端相连接；所述晶体样品旋转台包括步进电机、步进电机驱动装置、转动轴、手轮、样品放置台、抽气机和螺栓，步进电机及步进电机驱动装置设置于工作台下方，步进电机驱动装置与步进电机相连，步进电机通过转动轴与样品放置台相连，手轮与转动轴相连，样品放置台通过螺栓固定在转动轴上，抽气机与样品放置台连接，步进电机驱动装置与PLC控制模块输出端相连。