一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法

摘要

本发明公开一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法，该系统包括：激光平面发射器，用于通过以自身旋转的方式使发射的激光束形成激光平面；位置敏感探测器，用于实时检测激光平面与自身感应区零位的位置偏差并将其发送至控制器；控制器，用于根据位置偏差生成驱动电流驱动伺服补偿器；伺服补偿器，用于以带动位置敏感探测器共同调整位置的方式对扫描架平面度误差进行实时地闭环控制补偿。本发明所述技术方案，采用闭环控制策略，对扫描面末端进行动态补偿，可解决紧缩场平面扫描架在环境复杂或者测试过程周期较长的情况下，受机械加工，装配精度、温度、环境振动、重力等因素影响造成机械形变使扫描平面存在平面度误差的问题。

主权项

一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统，其特征在于，该系统包括：激光平面发射器、位置敏感探测器PSD、控制器和伺服补偿器；激光平面发射器，用于利用以自身极化旋转的方式使发射的激光束形成垂直于紧缩平面场微波传播方向的激光平面；位置敏感探测器PSD安装在伺服补偿器上，并使位置敏感探测器PSD的感应区的接收方向与激光平面平行且与扫描架天线探头的接收方向垂直，位置敏感探测器PSD用于通过其自身的感应区检测与所述激光平面的位置关系，并将产生的位置偏差发送至控制器；控制器，用于根据所述位置偏差生成驱动电流驱动伺服补偿器；伺服补偿器安装在扫描架悬臂上并连接位置敏感探测器PSD和扫描架天线探头，用于带动位置敏感探测器PSD和扫描架天线探头同步运动，完成对紧缩场平面扫描架的平面度的实时补偿；所述伺服补偿器包括：天线极化装置和进给补偿装置；天线极化装置安装在进给补偿装置上并连接位置敏感探测器PSD和扫描架天线探头，用于带动位置敏感探测器PSD和扫描架天线探头在平行于所述激光平面的方向同步极化旋转；进给补偿装置，用于带动天线极化装置、位置敏感探测器PSD和扫描架天线探头在垂直于所述激光平面的方向同步直线运动。