有减少的应力灵敏度的微电机传感器器件和对应制造工艺

摘要

一种MEMS器件具有：支撑基部，具有与外部环境接触的底表面；传感器管芯，为半导体材料并且集成微机械检测结构；传感器框，布置在传感器管芯周围并且机械地耦合到支撑基部的顶表面；以及帽，布置在传感器管芯上方并且机械地耦合到传感器框的顶表面，帽的顶表面与外部环境接触。传感器管芯从传感器框被机械地去耦合。

主权项

一种MEMS器件(20)，包括：支撑基部(22)，具有被设计为与外部环境接触的底表面(22b)；传感器管芯(24)，包括半导体材料并且集成微机械检测结构(25)；传感器框(30)，布置在所述传感器管芯(24)周围并且机械地耦合到所述支撑基部(22)的顶表面(22a)；以及帽(36)，布置在所述传感器管芯(24)上方并且机械地耦合到所述传感器框(30)的顶表面(30a)，所述帽(36)的相应顶表面(36a)被设计为与所述外部环境接触，其特征在于所述传感器管芯(24)从所述传感器框(30)被机械地去耦合。