离子束强化装置及方法

摘要

本发明提供了一种离子束强化装置及方法，所述离子束强化装置包括：第一管，所述第一管内具有气体通道；加热单元，所述加热单元用于加热所述第一管；第二管，所述第二管的一端连接所述第一管，所述第二管的非与所述第一管重叠的部分的内径小于所述第一管的内径；电极，所述电极用于电离进入所述第二管内的气体。本发明具有气体利用效率高、离子束强度高等优点。

主权项

一种离子束强化装置，其特征在于：所述离子束强化装置包括：第一管，所述第一管内具有气体通道；加热单元，所述加热单元用于加热所述第一管；第二管，所述第二管的一端连接所述第一管，所述第二管的非与所述第一管重叠的部分的内径小于所述第一管的内径；电极，所述电极用于电离进入所述第二管内的气体。