一种非接触无振动低温固体界面热阻测试装置

摘要

本发明公开了一种低温固体界面热阻测试装置，下波纹管的上端和上波纹管的下端密封固定在真空罩的上端开口处；上波纹管的上端盖有一密封盖；下波纹管下端的上表面与样品架底部的下表面通过柔性导冷结构相连，下波纹管的下端与制冷机冷头的上表面接触；上波纹管上端和样品架上端及密封盖紧固在隔振支架上；上波纹管、下波纹管以及密封盖构成密闭空间，密闭空间中有一固定在样品架底部的用于安装待测样品的样品夹具。该结构能够快速抽干空气使密闭空间形成真空环境，减少更换样品时抽真空及降温时间，缩短实验周期。此外样品架上端与隔振支架紧固相连，样品架底部与下波纹管下端通过柔性导冷结构相连，隔绝制冷机工作时冷头的振动对样品架的影响。

主权项

一种低温固体界面热阻测试装置，其特征在于，包括样品架(3)、样品夹具(6)、上波纹管(4)、下波纹管(7)、隔振支架(11)、真空罩(12)和制冷机冷头(13)，上波纹管(4)和下波纹管(7)分别放置于样品架(3)外周的上部和下部，下波纹管(7)的上端和上波纹管(4)的下端密封固定在真空罩(12)的上端开口处；上波纹管(4)的上端盖有一密封盖(2)，密封盖(2)上开有一个用于连接真空泵的真空泵接口(1)；下波纹管(7)的下端的上表面与样品架(3)的底部的下表面通过柔性导冷结构(8)相连，所述下波纹管(7)的下端的下表面与制冷机冷头(13)的上表面压紧接触；上波纹管(4)的上端和样品架(3)的上端以及密封盖(2)一起紧固在隔振支架(11)上；上波纹管(4)、下波纹管(7)以及密封盖(2)构成密闭空间，所述密闭空间中有一固定在所述样品架(3)底部的上表面的用于安装待测样品的样品夹具(6)。