一种复合掩膜板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种复合掩膜板及其制作方法，该复合掩膜板包括有非磁性金属层及设置于该非磁性金属层上的多个磁性金属块，该非磁性金属层上还设置有掩膜板开口区域，在该掩膜板开口区域中设有多个掩膜板开口。本发明的复合掩膜板由于采用磁性金属与非磁性金属两种金属复合而成，具有很高的强度，同时可提高掩膜板的开口率。

主权项

一种复合掩膜板，其特征在于，其包括有非磁性金属层及设置于所述非磁性金属层上的多个磁性金属块， 所述非磁性金属层上还设置有掩膜板开口区域，所述掩膜板开口区域中设有掩膜板开口，多个所述磁性金属块呈多行多列分布于所述非磁性金属层上，相邻两行或两列的各所述磁性金属块错位排列。