双通道热释电分光探测器、分光阵列及其制备方法

摘要

本发明公开了一种双通道热释电分光探测器、设置其内的沟槽结构分光阵列及分光阵列的制备方法，涉及热释电探测器电子技术领域。本发明公开的双通道热释电分光探测器采用沟槽结构分光阵列能够克服现有技术中直线型并行多通道探测器探测率低、信号输出微弱的缺点，所述沟槽结构分光阵列是由多个分光单元组合形成具有V型槽结构的正方形分光阵列，本发明通过合理设计分光单元组合形成分光阵列，以实现将内置于探测器中的分光阵列作为分光器，保证了每个探测通道信号的独立性和稳定性，运用本发明双通道热释电探测器能够实现分析同种气体的不同吸收波段，进而实现更精确的测定，也能实现同步分析多种气体，从而提高监测效率。

主权项

一种双通道热释电分光探测器，其特征在于，包括探测器外壳、设置于壳体内且能够接收到光源的沟槽结构分光阵列和两个探测单元，沟槽结构分光阵列是由n个分光单元形成具有V型槽结构的正方形分光阵列，所述分光单元是由镍铬片制得的底面为矩形的微型三棱柱，单个探测单元包括一片热释电晶体片和一片窄带红外滤光片；其中：探测器外壳上设有通光孔，沟槽结构分光阵列位于所述通光孔正下方，所述两个探测单元向内倾斜设置于所述沟槽结构分光阵列的两个分光方向，并且两片热释电晶体片分别与沟槽结构分光阵列的两个分光方向垂直，探测单元中的窄带滤光片设置于靠近分光阵列一侧。